型号

VMS2010

VMS3020

VMS4030

VMS5040

有效测量行程

200*100

300*200

400*300

500*400

Z轴调焦升降范围

≤200mm

≤200mm

≤200mm

≤200mm

玻璃台尺寸

223mm×143mm

330mm×230 mm

450mm×340mm

555mm×445mm

载物台尺寸

345mm*250mm

445mm×345mm

620mm*510mm

720mm×610mm

承载重量

≤25 kg

线性精度

U≤( 3+L/200 )μm

分辨率

0.001mm

CCD

美国TEO高分辨率1/3”彩色CCD    600TV线

镜头

可连续变倍高清镜头   光学放大倍率0.7×-4.5×

影像放大倍率

20×-180×

光栅尺

高精度精密光栅尺,分辨率1um

测量软件

光学视觉精密测量软件

主机机身

底座、立柱、工作台均为000级高精度花岗石平台

主机外形尺寸

570×410×870mm

700×470×950mm

980×670×1020mm

1170×770×1030mm