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型 号 | 孔数 | 气体控制方式 | 工作区尺寸 | 压力显示 | 真空度 | 流量控制阀 |
SPE-12C | 12 | 统一控制 | 210*100*138 | 有压力表 | 0.098Mpa | 无 |
SPE-12D | 独立控制每个孔 | 12个 | ||||
SPE-24C | 24 | 统一控制 | 210*120*138 | 无 | ||
SPE-24D | 独立控制每个孔 | 24个 |