1、原水箱→增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→阳离子交换床→阴离子交换床→混床增压泵→混合离子交换器→纯水箱

2、原水箱→增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→精密过滤器→高压泵→单级反渗透装置→中间水箱→混床增压泵→混床超纯水系统→超纯水箱

3、原水箱→增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→高压泵→单级反渗透装置→中间水箱→混床增压泵→混床超纯水系统→超纯水箱

4、原水箱→增压泵→机械过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→PH调试装置→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透装置→二级高压泵→二级反渗透装置→中间水箱→EDI增压泵→EDI电去离子水装置→高纯水箱

5、原水箱→增压泵→机械过滤器→活性碳过滤器→阻垢系统→PH调试装置→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透装置→二级高压泵→二级反渗透装置→中间水箱→EDI增压泵→EDI电去离子水装置→高纯水箱
高纯水装置 电阻率10兆欧以上，15兆欧以下，16兆欧以上，17兆欧，5兆欧