化工行业中的超纯水主要应用于电池行溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合，对于水质要求相对来说不是太高，纯水电导率从0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能满足要求。

  化工行业用纯水设备采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水，化工行业用纯水设备也是目前的超纯水制备工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，化工行业用纯水设备对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。