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TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制，自动 测量薄膜厚度和折射率，具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器采用 USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采 集及处理方式，适用于不同用户的需要。
规格参数
测量范围：薄膜厚度范围：1~300nm
折射率范围：1~10
入射角调节范围：20~90°
膜厚精度：±1nm
折射率重复精度：±0.01
外形尺寸/重量：590mm*390mm*290mm/25kg
主要配置
TPY-2 自动椭圆偏振测厚仪主机
控制系统：电控箱
二氧化硅膜样片
配套专用测量分析软件