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TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节，自动测量 薄膜厚度和折射率，精度高、灵敏度高、方便测量。光源 采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器软件具有 生成表、查表以及精确计算等功能，方便用户使用。
规格参数
测量范围：薄膜厚度范围：1~300nm
折射率范围：1~10
入射角调节范围：20~90°
膜厚精度：±1nm
折射率重复精度：±0.01
外形尺寸/重量：590mm*390mm*290mm/25kg
主要配置
TPY-1 椭圆偏振测厚仪主机
控制系统：电控箱
二氧化硅膜样片
配套专用测量分析软件