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特点：
1.本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法，测量时不损伤工件表面，能快速测得各种工件表
面微观形貌的立体图形，并分析计算出测量结果。适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度；
标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表
面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
2.由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量
结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，加工车间，也适用于高等院校和
科学研究单位等。
