品牌
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青岛市所在地
特点
采用精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到较小。
通过使用热膨胀系数较低的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少。
使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。
较稳定的几何量精度(如:直线度和垂直度) 以降低热效应影响。
货号 | 型号 | 分辨率 | 工作台玻璃尺寸 | 台面承重 | 重量 |
ULTRA QV404 PRO | ULTRA QV404 PRO | 0.01μm | 493 x 551mm | 40kg | 2150kg** |
*测量精度在以下条件下定义
可编程电动转盘: 1X, 物镜设置: 2.5X
L 为两点间尺寸 (mm)
** 包括机器设置台
*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改
