摘要

浸没式光刻机是应用于集成电路制造的关键设备，其浸没系统的温度是影响其性能指标的关键因素之一。浸液温度控制的性能主要由浸液系统的结构与浸液系统的控制算法决定。提出了浸没式光学系统高精度温度探头控制温度和调节冷却水的流量控制温度的稳定性的温控原理。与通过直接测温方式控制浸液温度的原理相比有效的利用了工厂的冷却水系统，无需制冷加热装置，降低了用户使用成本。且获得更高的温度稳定性和抗ganrao力。

浸没式光学系统高精度温度探头介绍

智测在推出创新的可在现场使用的浸没式光学系统高精度温度探头之后，又成功开发了功能更多，使用更方便的浸没式光学系统高精度温度探头，将探头的产品形成不同系列以满足各种用户的不同应用。在几乎没有降低任何计量性能之上，将高性能延伸到了工业过程环境。在选装了“过程”选件之后，现场计量时无需再携带任何其它工具，一台现场浸没式光学系统高精度温度探头足以应付各种计量之需。这也就意味着将实验实全部搬到了现场。 

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在所需的温度范围内使用，它可方便的设置并精确产生所需的温度。它体积小，加热快速，温控稳定，无污染等特点，可将温度传感器与仪表进行整体校验，因此它易于携带，使用方便，易于快速可靠地温度校准，广泛应用于机械，船舶，化工，食品，电力，药品等行业。