株式会社ULVAC作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum)的真空技术，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供*的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的*设备。

1-泵体；2-旋片；3-转子；4-弹簧；5-排气阀

旋片泵工作原理图

爱发科真空泵电功率的增大主要是机械上的毛病。如新安装的爱发科真空泵联轴器组装不当，即机泵的轴线不在同一条直线上，旋片与缸体碰撞，会使泵浦运转时电流增大，应重新组装真空泵。正常运行的泵浦，电动机导轴承和推理轴承的磨损，真空泵轴承和旋片磨损或者是电动机转子的扫膛。这些都会增加泵浦的机械磨损，导致电流增大并耗用电功率。因此泵浦运用到一定时间应进行保养和更换易损件。