爱发科涡旋式真空泵-步信自动化科技（上海）有限公司手机版

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ULVAC作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum)的真空技术，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供*的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的*设备。

涡旋式真空泵工作原理图

涡旋式泵主要包括左定子、右定子、转子、曲轴、防自转机构、进气口、排气口等部分。气体在由涡旋定子和涡旋转子组成的月

牙腔内压缩，涡旋定子固定在机架的周边上，在涡旋定子的周边上开有吸气口，在转子和定子涡旋体中心部开有排气口。涡旋转

子随着曲轴的回转以偏心量作为半径绕定子中心做公转运动。在涡旋转子还受防自传结构的约束，不能自传，始终保持着一种固

定的姿势，其中心绕涡旋定子中心作半径为R的圆周运动。

1.无需使用泵油,无需泵油交换,没有油污染;

2.耗电比油泵少;

3.空冷式,无需冷却水.

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