产品简介
负压系统（非标真空系统）真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由*的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
详细介绍
真空系统特点真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统内各处的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到流程工艺 。
