Aerotech精密气浮直线平台

1.Aerotech精密气浮直线平台概述

AEROTECH设计和制造性能高的运动控制和定位系统。用户覆盖世界各地的工业，科学和研究机构。AEROTECH精密的运动控制产品（motion control products）成功应用于医护设备和生命科学，半导体和平板显示，Jun事/hang空宇宙，电子制造和测试，汽车等行业。

从1970年起，AEROTECH就为用户设计和制造性能高的运动控制（motion control）和定位系统（pоsitioning systems）。用户覆盖世界各地的工业，科学和研究机构。AEROTECH精密的运动控制产品（motion control products）为当前要求苛刻的市场如:

  医护设备和生命科学(medical device and life sciences)，

  半导体和平板显示(medical device and life sciences)，

  光子学(photonics)，

  汽车(automotive)，

  数据存储(data storage)，

  激光处理(laser processing)，

  Jun事/hang空宇宙(military/aerospace)，

  电子制造和测试(electronic manufacturing and test)，

  装配(assembly)，

  研究和开发(research and development)，及其他需要高精度，高生产能力运动解决方案的应用提供了高的性能。

  AEROTECH承诺始终如一的推进产品进步，高附加值服务能力作为座右铭。“奉献运动科学”总是指引AEROTECH努力发展，使提供的产品和服务具有：

1） 购买成本很低

2） 生产能力很高

3） 精que性很高

4） 投资汇报率很好

 AEROTECH的发展历程（Aerotech Timeline）展示了承诺的成效。获得的奖励表明AEROTECH的努力得到工业界同行和同僚认可并为此而感到欣慰。

 AEROTECH坚信：出众的运动控制系统开始于设计和制造技术高超的零件。别的供应商把通用零件集成在他们的运动系统里声称卖的是优异系统。而一套AEROTECH的系统是以AEROTECH的运动零件开始的，他们已经在同类中是*的，而且是为实现性能高，zui小成本特别设计的，*化的。从技术高超的零件到性能高的子装配到*的高度集成的子系统。AEROTECH在满足您的应用要求方面远胜于竞争对手。

 所有产品性能在产品线的深度和宽度上是有余格的。能“1站式”提供给用户快速有效的解决方案。

 从获奖的Automation 3200   32轴运动，视觉，PLC,机器人和I/O网络到系列单轴和多轴基于PC的和独立运动控制器，AEROTECH提供一整套适合应用要求的控制方案。AEROTECH制造大选择范围性能高无刷直线和旋转电机及线性驱动器。  

  AEROTECH的定位平台范围从经济的滚珠丝杠和齿轮传动的直线和旋转平台到性能高的直接驱动直线和旋转平台，直线电机为基础的笛卡儿坐标龙门系统，单轴和多轴气浮系统，FiberMax, FiberAlign和全范围的纳米定位平台。

 如果您找不到适合的标准产品，AEROTECH可以为您定制运动零件和系统，其技术和能力在业界是的。提供真空和无尘环境下的产品有悠久的历史，这使定制能力更进一步。

 从概念到zui终验证，AEROTECH的工程师和技术团队用他们的专长和技能，和AEROTECH已经过验证的产品和运动控制和定位技术，保证定制的工程系统成功。*的分析和诊断能力能为用户提供很高水平的工程和服务支持，提供超水平的附加值服务。

 AEROTECH忠实地支持世界范围的客户。遍布美国各地的实地销售和工程办公室，在世界设立的代表机构数量不断增长。在英国、德国和日本有运行全部的销售和服务的机构。

2.Aerotech精密气浮直线平台系列

1）ABL1000气浮平台

1专为性能高校准和装配应用设计

2分辨率达2nm的直线编码器反馈

3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)

4全预加负载气浮导轨(空气轴承)

5低噪音线性放大器

6全部非接触设计

行程≤150mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.05um

直线度±0.25um

2）ABL1500直线电机平台

1专为性能高扫描和检测应用设计

2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈

3全预加负载气浮导轨(空气轴承)

4大负载高刚性几何特性很好

行程≤500mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.10um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

3）ABL2000气浮平台

1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计

2运动超平滑,速度稳定性突出

3直线编码器或激光干涉仪反馈

4行程达1.2米

5全预加负载气浮导轨(空气轴承)

6全部非接触设计

行程≤1200mm

精度±0.50um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

4）ABL3600气浮平台

1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测应用设计

2双轴,大孔,开放式结构

3非接触直线编码器反馈,精度高

4双直线电机驱动XY轴

5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

行程≤250mm

精度±1um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.50um

平面度±1um

5）ABL8000气浮平台

1专为有效负载大,负载重xin偏离机架中心线的应用设计

2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性很好

3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

4行程达1米

5直线编码器或激光干涉仪反馈

6可集成包括花岗岩的XY子系统

行程≤1000mm

精度±0.50um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.40um

平面度±0.40um

6）ABL9000气浮平台

1世上性能高的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合

2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

3行程达1.2米X1.2米

4Y轴双直线电机驱动

5直线编码器或激光干涉仪反馈

6主动控制偏转

行程≤1200mm

精度±0.50um

重复定位精度±0.10um

直线度±0.50um

平面度±0.50um

7）AHL9000直线电机平台

1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计

2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承

3行程达1.2米X1.2米

4双直线电机驱动步进轴

5直线编码器或激光干涉仪反馈

行程≤350mm

精度±1.0um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.60um

平面度±0.60um

8）ABG10000气浮平台

1气浮导轨实现超平滑运动

2所有轴都预加载荷

3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动

3行程达1mx1m

4非接触直线编码器(光栅)

5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱

6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．

行程≤1000mm

精度±2um

重复定位精度±0.5um

直线度±1um

平面度±1um

3. Aerotech精密气浮直线平台应用

超精密加工

超精密平台

超精密检测