Aerotech纳米级直线定位平台

ANT95-L系列纳米平移台

1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）

3.纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT95-XY系列双轴纳米平移台

1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程

2.大行程实现纳米定位

3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）

4.3纳米的位置稳定性

5.抗爬行十字交叉滚珠轴承

6.高动态特性

ANT95-L-Z系列纳米垂直平移台

1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）

3.5纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT95-R系列直驱旋转台

1.高分辨率（0.01角秒）

2.性能高

3.*的跳动指标

4.*的定位性能

5.高动态特性

6.多轴结构

ANT130-L系列纳米平移台

1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）

3.3纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

6.8种行程和精度范围可选

ANT130-XY系列双轴纳米平移台

1.结构紧凑的纳米平移台

2.大行程实现纳米定位

3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）

4.3纳米的位置稳定性

5.抗爬行十字交叉滚珠轴承

6.高动态特性

ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台

1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）

3.5纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT130-R系列直驱旋转台

1.高分辨率（0.01角秒）

2.性能高

3.*的跳动指标

4.*的定位性能

5.高动态特性

6.多轴结构

ANT180-L系列纳米平移台

1．非接触，无齿槽，无摩擦，直接驱动

2．零背隙，无磁滞现象

3．抗爬行十字交叉滚珠轴承

4．高达360毫米行程

5．高分辨率（1纳米），重复定位精度（100纳米），定位精度（150纳米）

6．完整的多轴电缆管理系统