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是SB100A/21(及SB100A/3)的升级版,其为用户提供了使用SB100A/3进行四探针测试及实验的配套软件,可运行于PC机上,能兼容运行在Winxp和Win7系统中,用于自动获取实验台的实验数据,并根据条件生成曲线和报表,辅助实验人员自动完成实验,直观的分析数据,获得实验结论,保存实验数据。本产品的电阻测量范围可达10-5—106Ω。
SB100A/21A四探针金属/半导体电阻率测量仪由SB118/21型精密电压电流源,SB120/2四探针样品测试平台及1台电脑(选购),并附有配套的软件系统等组成。产品的硬件详情可参见SB100A/21及相应产品的介绍 。
SB100A/21A四探针金属/半导体电阻率测量仪的软件系统为用户提供参数设置、实验流程、实验方式、数据分析、曲线报表,并在后台数据库中进行长期保存,实验人员可以查询以前的任何一次实验的结果、所有的曲线和报表都可提供打印功能。
SB118/21型精密直流电压电流源 (带RS232C接口,详见该产品使用说明书)
l 直流电压源:输出电压范围 0~50V 分20mV、200mV、2V、20V、50V五档,每档输出电压可连续调节,分辨力为1µV,基本误差为0.05%RD±0.02%FS。
l 数字电压表(4½LED)利用电压源部分“取样”端可对被测电压进行测试,测量量程为20mV、200mV、2V、20V、50V(200V),分辨力为可达1μV,基本误差:0.05%RD±0.02%FS。
l 直流电流源:输出电流范围 0~200mA 分20µA、200µA、2mA、20mA、200mA五档,每档输出电流可连续调节,分辨力为1nA,基本误差为0.03%。
l 仪器后面板配有一个为PC/RS232C接口连接至PC机上,可利用PC机上的“超级终端”获得仪器的测量数据。
SB120/2四探针样品平台(详见该产品使用说明书)
为被测薄膜样品,利用四探针测量方式测量导体/半导体样品的电阻和电阻率,提供了方便。