INFICON 贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中，测量范围为 5×10^-10 毫巴至大气压（3.8×10^-10 托至大气压）。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择带有两根氧化钇镀层铱丝的BPG400型真空计，价格经济，且可重复测量基准压力。传感元件自带的在轨校准数据在更换传感器时确保了高再现性。

益处

• 测量范围非常广，从 5×10^-10毫巴至大气压（8×10^-10 托至大气压）
• 10^-8… 10^-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
• 皮拉尼联锁保护单丝，防止过早烧毁
• 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
• RoHS 合规

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制