JKZC-X-16B单轴长行程压电滑台

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2026-05-18 17:00:34
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产品简介

JKZC-X-16B单轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,具有数厘米级行程和纳米级运动精度。

详细介绍

JKZC-X-16B单轴长行程压电滑台

JKZC-X-16B单轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,具有数厘米级行程和纳米级运动精度。

JKZC-X-16B单轴长行程压电滑台 

1、典型应用

扫描电镜(SEM)样品操纵

主动光学

超分辨成像样品移动

大范围电子束直写(EBL)

微纳装备及制造

集成电路制造与检测

高真空样品精度对准及调姿

纳米聚焦与扫描

显微及纳米CT

2、技术特点

超长行程:16mm

高分辨率:传感器分辨率为1.22nm

超高精度:最小步长50nm

运动速度:可达10mm/s

稳定性:保持力可达3N

超高真空兼容性

运动模式:支持开环与闭环

轻量化、结构紧凑,高可靠性

模块化设计,摩擦单元可替换

3、2D尺寸图

JKZC-X-16B单轴长行程压电滑台 

4、规格参数


JKZC-X-16B

单位

运动轴数

1


行程

16

mm

保持力(Force)

3

N

大承载力(Load)

10

N

尺寸(LxWxH)

50x50x12.5

mm

自重

75

g

大速度

5

mm/s

分辨率

12.5

nm

最小步长

50

nm

传感器类型

光栅编码器(玻璃栅尺)


电气接口

D-sub(可定制


线缆长度

1.5

m

材料

铝合金/钛合金


真空(可选)

超真空兼容(5x10”)

mbar

5、适配控制器

JKZC-X-16B单轴长行程压电滑台 


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