桌面型高性能磁控溅射系统 Desktop Pro-上海绘吉电子科技有限公司手机版

详细介绍

桌面型高性能磁控溅射系统
Desktop Pro提供了一种高性能，小巧，实惠的磁控溅射系统
节省空间
Desktop Pro只需要不到36英寸的空间（0.9m）
节省费用
一个电源可以驱动两个靶枪
均匀性好
倾斜的靶枪和旋转工件盘使得在整个工件盘上达到5%的镀膜均匀性
抽真空速度快
抽速65lps的涡轮分子泵，保证系统优秀的抽真空性能和对反应气体的负载能力
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强大的控制系统
基于PLC的触摸屏控制系统提供下列操作模式：维修模式，手动操作模式和半自动操作模式
互锁保护避免不适当操作对人员和设备的损害

典型应用
磁控溅射
磁控溅射
材料研究
产品质量控制和分析
半导体失效分析
纳米技术
复合半导体

可选项
磁控溅射
液氮冷阱
共溅射
射频/直流溅射电源
多靶枪
质量流量控制器，精确控制气体流量
泵选项
无油机械泵

产品简介

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