MIKRON PhotriX 直接蓝宝石光导管配置

美国！制造商：MIKRON，隶属LumaSense集团

简要描述：

Photrix系列是我们精确的测温仪，拥有行业内较好的信噪比，可测量低温，实现控制高价值工艺与研究应用的的精确度。我们 Photrix系列的这一配置采用一根蓝宝石光杆（也就是“光导管”）作为镜头，用以收集来自目标物体的红外辐射。光导管镜头的优势在于，它可测量低温，且易于安装在真空反应器内，一般用于*材料的沉积（生长）以及蚀刻（移除）工艺。

Photrix光导管镜头配置有5种光谱响应（波长），具有以下特点:

主要优势：

● 低温测量功能（具体内容请参照以下表格）

● 30-670°C温度条件下光谱响应为700-1650nm

● 70-110°C温度条件下光谱响应为1550nm

● 210-1300°C温度条件下光谱响应为900nm

● 220-1300°C温度条件下光谱响应为880nm

● 400-1500°C温度条件下光谱响应为650nm

● 响应时间短，仅1毫秒

● 精确度+/- 1.5 °C或读数的0.15%

● 精度0.01 °C（详见技术资料TN-828）

模拟输出(用户可选4-20mA或0-10V)、以及多通道接口模块（单个数字信号最多可使用8个传感器，串行模拟输出）可供选择。标准系统包括所有必要的电缆、电源、电脑接口软件以及存档/校正系统。

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技术参数：

● 半导体

● 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池沉积

● 非晶硅薄膜沉积

● 直拉晶体生长

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选择镜头（根据测量距离、光斑大小）：