技术参数：

1.涂镀层分析范围：氯（Cl）/锂（Li）- 铀（U）

2 厚度较低检出限：0.005μm

3. 较小测量直径0.2mm（较小测量面积0.03mm²）

4.  元素分析范围：氯（Cl）- 铀（U）

5..成分较低检出限：1ppm

检测78种元素镀层·0.005um检出限·较小测量面积0.002m㎡·较深凹糟可达90mm。

外置的高精密微型滑轨，可以快速控制样品移动，移动精密0.005mm，速度10-30mm(X-Y)/圈，较小再多的样品都没难度，让操作人员轻松自如。

专业的研发团队在Alpha和Fp法的基础上，计算样品中每个元素的一次荧光、二次荧光、靶材荧光、吸收增强效应、散射背景等多元优化迭发出EFP核心算法，

单涂镀层应用：如Ni/Fe、Ag/Cu等

多涂镀层应用：如Au/Ni/Fe、Ag/Pb/Zn等

合金镀层应用：如ZnNi/Fe、ZnAl/Ni/Cu等

合金成分应用：如NiP/Fe，通过EFP算法，在计算镍磷镀层厚度的同时，还可分析出镍磷含量比例。

重复镀层应用：不同层有相同元素，也可测量和分析。

如钕铁硼磁铁上的Ni/Cu/Ni/FeNdB，一层Ni和三层Ni的厚度均可测量。

测量面积：较小0.04mm²   

镀层分析：23层镀层24种元素

仪器特点：可手动变焦

仪器优势：同元素不同层分析