PI  A-311 高精度PIglide IS平面扫描仪

   高性能，紧凑型XY纳米定位系统

   扫描应用的完美选择或精密定位

   行程达200 毫米 × 200 毫米

   低外形

   无尘室兼容

   负载容量达147 牛

   分辨率达1纳米

   产品概述

   带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限，能够节省机械空间。

   PIMag®磁力直接驱动

   三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与性磁铁发生不良作用。这样即使在*的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

   利用来自制造商的数字控制器，操作可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。

   附件和可选配件

   编码器

   PIglide过滤器和空气预处理器

   多轴运动控制器和直接驱动器

   机器底座

   花岗岩底座板和隔振系统

PI  A-311 高精度PIglide IS平面扫描仪

   应用领域

   PIglide 定位系统特别适合高精度应用，例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。

   订购信息

   A-311.AA1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，100毫米 × 100微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

   A-311.AB1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，100毫米 × 100微米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

   A-311.BA1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，150毫米 × 150微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

   A-311.BB1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，150毫米 × 150微米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

   A-311.CA1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，200毫米 × 200微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

   A-311.CB1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，200毫米 × 200微米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

   A-311.DA1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，50毫米 × 50微米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

   A-311.DB1

   PIglideISPlanarscanner，空气轴承，50毫米 × 50微米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏