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　　提高晶圆产量可以从清洁水质开始。超纯水是精密元器件生产质量的重要保证。目前，电子晶圆行业超纯水设备大多采用反渗透+EDI+抛光混床的生产工艺。这是一种环境友好、经济且有潜力的超纯水制备工艺。与传统超纯水制备工艺相比，该工艺再生不需要回收化学品。EDI水处理工艺不需要添加任何化学品，减少了化学品的运输，降低了系统的运行成本。不需要中和剂。EDI膜块不产生酸碱废液，不需要酸碱中和罐。EDI水处理系统产生的浓缩水一般可以回收利用。整个系统的运行成本较低。EDI电子晶圆行业超纯水设备主要消耗电力维持系统运行，低于传统混床工艺。水资源利用率高。与混床工艺相比，EDI电子晶圆行业超纯水设备的水利用率可达95～99%，有效提高了水资源的利用率。EDI电子晶圆行业超纯水设备无需更换树脂即可连续工作，自动化程度高，无需人工操作。EDI电子晶圆行业超纯水设备结构紧凑，占地面积小，安装方便。