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芯片的制造过程很复杂,从设计、生产再到封装和测试,每一步都非常重要。在制造环节中要解决的问题有耗材、晶圆、光刻胶、超纯水、各种离子等。芯片制造的关键设备之一是电子电子超纯水设备,可用于生产芯片清洗的超纯水,而超纯水的质量直接影响到芯片的质量。
莱特莱德电子超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法,将水中的导电介质去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度。超纯水系统设备的脱盐核心部件为反渗透膜组件、EDI系统和抛光混床,超纯水系统设备通常由预处理部分,反渗透主机部分,后处理部分共同组成。
电子超纯水设备具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、脱盐率高、系统内无死水等优势,出水水质符合美国ASTMD5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。