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莱特莱德集成电路超纯水设备不需酸碱再生,无污水排放,出水水质稳定能连续生产出符合用户要求的超纯水,因此更适用于集成电路的用水工艺中。其技术特点如下:
1、降低能耗,减少化学药品的使用量,综合成本低。
2、各个自动运行程序的工艺参数、控制参数可以在线设定。
3、自动报警系统可分析各类故障并发出警报,显示故障点和故障状态。
4、整体设备运行稳定、自动化程度高、无需人工操作。
5、安装杀菌消毒系统,确保出水水质不受二次污染。