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在半导体加工的过程中,需要用水进行处理,该水质的要求非常高,不能含有任何离子杂质,因此只有超纯水符合行业用水要求。但超纯水的回用率不高,因此对优质超纯水的需求量很大。传统的超纯水制备方法主要有蒸馏法和离子交换法。蒸馏设备要求严格,产量低,能耗高。离子交换法再生失效的离子交换树脂需要大量的酸碱溶液和大量的清洗水,劳动强度高。可以看出,这些传统方法不适合生产高纯度的超纯水。
莱特莱德半导体超纯水设备设计采用成熟、可靠、高度自动化的两级ro+EDI+精混床除盐水处理工艺,确保处理后的水电阻和电电阻达到18MΩ.CM以上。厘米该设备能够连续稳定地制备高质量的超纯水,不会因树脂再生而停止运行。设备结构设计相对紧凑,占地面积小,可为企业节省大量空间。半导体超纯水设备出厂前需进行压力试验。设备故障概率小,日常维护和维修操作非常简单。半导体超纯水设备还配备了反渗透预脱盐技术,再次从根本上确保了水处理设备的出水质量。
我国集成电路产业有着广阔的需求市场和充足的人才支持。预计国内替代将在很长一段时间内保持集成电路行业的高前景和增长。