（interferometer），也称为Michelson干涉仪，它是一种广泛用于光学测量和实验的仪器。在Michelson干涉仪中，光线被分成两个路径，经过两个镜子的反射后再次合并。在合并的地方，如果两条光路之间存在相位差，则会出现干涉条纹。通过测量这些干涉条纹的位置和形状，可以计算出光线的波长、振幅、相位等参数。

　　Tablestable干涉仪是一种高精度的Michelson干涉仪，常用于制造和检测精密光学元件和系统。它采用稳定的平台和支撑结构，以确保两个光路之间的稳定距离和准确对准。此外，Tablestable干涉仪还配备了高精度的控制器和数据采集系统，以实现高精度的测量和控制。

　　Tablestable干涉仪在精密制造和测量领域有着广泛的应用，例如半导体制造、光学元件制造、航空航天制造等。

　　描述

　　tablestable TFP-1光谱仪基于串联3+3通道法布里-涉仪布置。反射镜间距可在0.1÷30 mm范围内选择。反射镜通过压电换能器在静止位置周围扫描，最大可达约2.5μm。

　　该仪器主要用于研究布里渊光谱，特别是扩展光谱范围内的许多或广泛的特征。灵活性使得拉曼光谱（约500厘米）-1）可以测量。该结构允许在轻微失去对准的情况下改变镜面间距，因此可以在几秒钟内再次实现对准。

　　与环境振动的隔离在高分辨率干涉测量中非常重要。干涉仪将直接测量小至1Å的反射镜的相对运动。大至10Å的动作会降低仪器的性能。这种运动可能是由与建筑振动相关的加速度引起的结构非共振变形引起的。在TFP-1光谱仪中，干涉仪载物台安装在主动隔离系统AVI-35 LPR上，基于定制的TableStable隔振装置。支架直接固定在底板上，底板本身应尽可能牢固地固定在地板上。采用这种解决方案，即使泵直接安装在光学工作台上也不会影响干涉仪的运行。

　　该光谱仪包括一个基于双快门系统LM2的自动稳定机制，该机制允许引入固定参考光束进行稳定。使用这种方法，镜子的对准可以无限期地保持。

　　该光谱仪配备了操作所需的所有光学元件，在工厂对齐并封装在黑色保护外壳中，安装在坚固的铝制底板上，适合安装在英制和公制标准光学工作台上。检测器可供选择，如下所述。光谱仪的使用以及基本检查和对准程序的初步说明课程包含在光谱仪的价格中。或者，该设备可以由经过培训的TableStable/JRS人员在现场安装。

　　仪器特点：

　　-在公共平移台上串联配置的两个法布里-珀罗腔的扫描组合;每个干涉仪上的三通。

　　-标准反射镜，扁平至lambda/200并涂有高抗介电涂层，可在480÷540 nm范围内使用。可根据要求提供不同波长的定制镀膜。

　　-通过电机控制载物台，在30μm至30 mm范围内轻松更改镜面间距，对准损失极小。后视镜间距可以通过千分表直接读取。

　　-平行四边形平移台可防止扫描过程中反射镜倾斜。

　　-使用电容式传感器的反馈回路提供高度线性的扫描。

　　-对温度变化保持稳定-不需要使用低膨胀材料进行结构。

　　-两个嵌入式主动隔振单元保证了干涉仪反射镜的振动抑制，并提高了系统对准的稳定性。

　　-扫描范围0÷2.5μm，使用可变形的平行四边形扫描平台。

　　-仪器响应函数的对比度高于1010.

　　-扫描期间最大镜面倾斜度：10-8拉德。

　　-扫描期间的最大抖动：1Å。

　　-每个干涉仪都配备了遥控（粗）机械和（精细）压电对准控制。

　　-线性扫描：偏离线性度最大值10-4的扫描幅度。

　　-仪器的光学板包括分析入射信号束和将光输出到光检测器所需的所有组件。

　　-选择输入和输出针孔以匹配反射镜间距范围。仪器的输入孔径为f/18。

　　-仪器配置从透射到反射的电动切换，以方便对准。

　　-仪器的控制单元提供反射镜的手动PZT对准控制，使用参考激光束上的反馈回路进行长时间稳定，输入快门操作，可选的扫描幅度，通过串行接口进行光子输出计数以及电子遥控功能子集。可用的数据采集软件提供远程交互功能。