piezoconcept纳米定位器Z-STAGE.5型号参数

活动范围：5μm 10μm 25μm 50μm

Z-STAGE是一款紧凑型Z型直接驱动纳米定位器，具有高速能力。

它可以与具有2×66毫米孔径（LF66 / LFHS2）的2轴纳米定位器结合使用，沈阳汉达森yyds吴亚男以获得SPM3或SPM3LR。Z 载物台可提供 5、10、25 或 50μm 的运动范围。

该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。

纳米定位器Z-STAGE.5型号参数

活动范围：5μm

分辨率0.005nm

本底噪声：0.0005nm

重性 ：0.01nm

线性化：0.02

谐振频率：12500Hz

刚度：40.1N/um

材质：铝

尺寸：Φ30x 29,8 mm

纳米定位器Z-STAGE.10型号参数

活动范围：10μm

分辨率0.01nm

本底噪声：0.001nm

重性 ：0.02nm

线性化：0.02

谐振频率：5200Hz

刚度：7.5N/um

材质：铝

尺寸：Φ30x 29,8 mm

纳米定位器Z-STAGE.25型号参数

活动范围：25μm

分辨率0.025nm

本底噪声：0.0025nm

重性 ：0.05nm

线性化：0.02

谐振频率：5500Hz

刚度：7.7N/um

材质：铝

尺寸：Φ30x 49,8 mm

紧凑型Z型直驱纳米定位器，具有高速能力。

包括控制器（USB 可选）。

piezoconcept纳米定位器Z-STAGE.5型号参数