德国 PIglideRM转台

P-611.1 线性压电陶瓷定位系统

§ 紧凑型设计：表面为44×44毫米

§ 行程120微米

§ 分辨率达0.2纳米

§ 其经济实惠的系统（机械部件和控制 器）

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 可提供Z向位移台、XY、XZ和XYZ版本

 德国PI (Physik Instrumente)

应用领域

§ 显微镜

§ 纳米定位

§ 生物技术

§ 测试应用

§ 半导体技术

§ 光子

§ 光纤定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

PI (Physik Instrumente) 各系列型号如下

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

PI (Physik Instrumente) E-503.00S

带空气轴承的PIglideRM转台

无摩擦，适用于分度、定位、扫描、测量技术

A-62x

§ 无尘室兼容

§ 运动平台直径为50毫米至300毫米

§ 负载容量达4170牛

§ 偏心度和平面度< 200纳米

§ 可水平或垂直安装

产品概述

PIglide RM系列电机驱动转台设计实现高准确性、精度和刚性以及便捷使用，可在任意方向上安装。 多种选项可组合在一起创建一种非常适用于点对点分度或恒速扫描的解决方案。 RM平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。由于无摩擦、无需维护或润滑，其非常适用于在无尘室中使用。

三相力矩电机

§ 无刷

§ 无槽

§ 低齿槽转矩

编码器（可选配）

编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安 全性。

附件和可选配件

§ 编码器

§ 可选配偏摆台

§ 定制安装法兰

§ 真空接头

§ 滑环

§ PIglide过滤器和空气预处理器

§ 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

§ 花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

光学对准、计量、检验系统、校准、扫描

订购信息

A-621.025A1

PIglideRM转台，空气轴承，50毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，81 92线/转，无槽、无刷三相力矩电机

A-621.025B1

PIglideRM转台，空气轴承，50毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机

A-623.025A1

PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，1 5744线/转，无槽、无刷三相力矩电机

A-623.025B1

PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机

A-623.050A1

PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，1 5744线/转，无槽、无刷三相力矩电机

A-623.050B1

PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机

A-624.050A1

PIglideRM转台，空气轴承，150毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，2 3600线/转，无槽、无刷三相力矩电机

A-624.050B1

PIglideRM转台，空气轴承，150毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机

A-627.075A1

PIglideRM转台，空气轴承，300毫米运动平台直径，75毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，4 7200线/转，无槽、无刷三相力矩电机

A-627.075B1

PIglideRM转台，空气轴承，300毫米运动平台直径，75毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机

德国 PIglideRM转台