德国Physik Instrumente（PI）紧凑型线性平台
&&M-110•M-111•M-112 V6紧凑型线性平台，适用于真空
XY（Z）组合与直流齿轮电动机和各种行程范围变体
M-110•M-111•M-112 V6紧凑型线性平台，适用于真空
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适用于高达10-6 hPa的真空
折叠式驱动器非常紧凑
闭环直流电动机
行程范围：5、15和25毫米
非接触式参考和限位开关
XY设置可以直接安装
紧凑型线性平台，用途广泛
线性平台具有紧凑的尺寸，归因于带皮带驱动的折叠驱动。直径为10毫米的透明孔。XY设置可以直接安装而无需转接板。
驾驶
闭环直流减速电机
背隙补偿丝杠
应用领域
真空室。研究。Beamline仪表。显微镜检查。电子组装和检查。
减少放气，特别是在真空环境下使用
显着的是，为了润滑导向装置和驱动螺杆，使用了排气量极低的材料。因此，烘烤温度可达到80°C。通过对PI V6真空等级的这种和其他修改，该定位器的使用时间可达10 -6 hPa。
位置测量
电机轴上的旋转编码器
非接触霍尔效应参考和限位开关
&&L-611 V6•V7•V9适用于真空的精密旋转平台
高行程精度
L-611 V6•V7•V9适用于真空的精密旋转平台
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适用于高达10-9 hPa的真空
无限旅行范围
*分辨率
步进电机
方向感应参考开关
可以进行多轴设置
参考级旋转台
由于预载蜗轮蜗杆传动装置的游隙小，因此可以实现高精度定位。预装的枢轴轴承可实现较高的行程精度。Ø35毫米的透明孔。双向旋转的行程范围不受限制。参考开关。
高真空应用的更高质量
在这种情况下，将使用适合于高真空的特殊组件，例如电动机，测量系统和限位开关。此外，表面由无涂层的铝制成，驱动螺钉和导轨由不锈钢制成。这样，达到了PI V7真空等级，这意味着高达10 -7 hPa。
选件：行程精度和定位精度的测量
可根据要求提供单独的测量记录，以用于摆动，轴向和径向蠕变。订购时请注明。
减少放气，特别是在真空环境下使用
显着的是，为了润滑导向装置和驱动螺杆，使用了排气量极低的材料。因此，烘烤温度可达到80°C。通过对PI V6真空等级的这种和其他修改，该定位器的使用时间可达10 -6 hPa。
质量满足超高真空的特殊要求
在此真空等级中，由于适用于超高真空的组件，产品在所有细节上均得到了优化，以达到10 -9 hPa的PI V9真空等级。除其他事项外，为此仅使用选定类型的塑料，烘烤温度为120°C（带测量系统）或150°C（不带测量系统）。
应用领域
真空室。研究。Beamline仪表。显微镜检查。电子组装和检查。
德国PI精密Z工作台
&&L-310 V6精密Z工作台，适用于真空
可与线性和旋转平台紧凑地组合
L-310 V6精密Z工作台，适用于真空
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适用于高达10-6 hPa的真空
行程范围26毫米（1英寸）
高分辨率编码器
步进电机
零间隙滚珠丝杠
承重达5.5公斤
精密级Z载物台
滚珠丝杠和交叉滚子导轨可实现较高的导向精度和刚度。减轻应力的铝制底座，具有的稳定性。2相步进电机即使在低速和高分辨率时也可提供高扭矩，非接触式限位和参考开关（霍尔效应）。在行程范围中间带有方向感应的参考开关。集成线性编码器，安装在中心。
减少放气，特别是在真空环境下使用
显着的是，为了润滑导向装置和驱动螺杆，使用了排气量极低的材料。因此，烘烤温度可达到80°C。通过对PI V6真空等级的这种和其他修改，该定位器的使用时间可达10 -6 hPa。
使用增量线性编码器进行高精度位置测量
非接触式光学编码器可以精度直接在平台上测量位置。非线性，机械间隙或弹性变形对测量没有影响。
应用领域
真空室。研究。Beamline仪表。显微镜检查。电子组装和检查。
德国Physik Instrumente（PI）紧凑型线性平台
