带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台

无摩擦，电动

 
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A-63x

200毫米或300毫米运动平台直径

薄型，60毫米

偏心和平整度<100 nm

静止时可以通过磁性预载自锁

产品总览

PIglide RL系列的直接驱动式薄型旋转平台采用薄型设计，可实现的精度。

可以组合各种选项来创建理想的解决方案，以实现点对点索引或恒速扫描。

RL位移台提供的行程精度，平坦度和摆动性能。

三相扭矩电动机

无刷

无插槽

低齿槽转矩

编码器（可选）

值编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。 这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作期间的效率和安全性。

配件和选件

增量或编码器

真空穿通

在静止状态下通过电磁预载自锁

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/定制设计

由花岗岩制成的底板和减少振动的系统

应用领域

光学对准，晶片检查，晶片对准，测量技术，检查系统，校准，扫描。

由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide工作台非常适合无尘室应用。

订购信息：

A-635.A100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，200 mm运动平台直径，低高度，带正弦/余弦信号传输的角度测量系统，31488线/转，无槽，无刷三相扭矩电动机

A-635.B100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，200 mm运动平台直径，低高度，带BiSS-C信号传输的角度测量系统，传感器分辨率为0.0015μrad，无槽，无刷三相扭矩电动机

A-637.A100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，运动平台直径300 mm，低高度，带正弦/余弦信号传输的角度测量系统，47200线/转，无槽，无刷三相扭矩电动机

A-637.B100

PIglide RL旋转平台，空气轴承，运动平台直径300 mm，低高度，带BiSS-C信号传输的角度测量系统，传感器分辨率为0.0015μrad，无槽，无刷三相扭矩电动机

带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台​