SF6气体回收充气装置在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并SF6气体回收充气装置造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。

净化功能是在完成上述回收、充放功能时同步完成的。

SF6气体回收充气装置使用流程说明：

 1、SF6气体的回收

当SF6从一个气室中抽出时，气体便自动地流经净化过滤器，通过SF6压缩机压缩冷却，可以气态也可以在一定高压下以液态形式储入SF6贮罐。

2、SF6开关抽真空

通过真空泵把开关中的空气及湿气可以抽除，真空泵的出口通向大气。

3、充气

经净化和干燥的SF6从贮罐充回到已抽成真空的气室中，直到气室内压力达到调定的工作压力。上述工作分两个步骤进行:

借助SF6贮罐压力使气体流向SF6开关，直至达到预定的充气压力。

2、当SF6贮罐压力与SF6开关压力平衡时，再采用压缩机进行加压充气，直至达到预定充气压力。