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Physik Instrumente PI高分辨率线性执行器
M-230 高分辨率线性执行器,带直流和步进电机
· 小增量运动 0.05 μm
· 行程范围 10 和 25 mm
· 非旋转端件
· 速度可达 1.2 毫米/秒
· 平均*时间 >20000 h
高分辨率线性执行器。位置控制直流电机带有齿轮箱和高分辨率旋转编码器,可实现增量运动,重复性仅为100 nm。带齿轮箱的低振动两相步进电机可实现平稳准确的开环定位。
Physik Instrumente PI高分辨率线性执行器
精密对准,千分尺螺钉的电动替代品。
极低摩擦和无间隙结构。用于均匀运动的非旋转端件可以防止接触点的摆动、扭矩和磨损。包括扁平和球形端件,用于解耦侧向和倾斜力。非接触式限位开关可以保护机械系统。带差分编码器驱动器的闭环变体,可在远 10 m 的距离内实现安全位置信号传输。
· 行程范围 17 mm
· 小增量运动 0.1 μm
· 速度可达 1.5 毫米/秒
· 闭环直流电机
· 平均故障时间 >5000 小时
高分辨率线性执行器,直流电机。折叠式驱动装置设计紧凑。旋转端件,旋转推杆。位置控制直流电机,带齿轮箱和高分辨率旋转编码器,可实现增量运动,重复精度仅为 100 nm
适合M-105微翻译阶段。
精确对准,电动替代千分尺螺钉。
极低摩擦和无间隙结构。非接触式限位开关可保护机械系统。带差分编码器驱动器的闭环变体,可在远 10 m 的距离内实现安全位置信号传输