Physik Instrumente (PI) 线性载物台

PI为微纳米测量要求提供了多种线性载物台定位系统。

纳米定位线性平台可以基于三种不同的原理：带无摩擦弯曲直线导轨的压电驱动器;带空气轴承的磁力直线电机;和“无轴承” - 由磁悬浮引导。PI 提供三种解决方案。

微定位电动直线载物台基于旋转步进和伺服电机或直线电机，由交叉滚子和直线轴承引导。

有几种类型的驱动器可供选择：旋转步进电机，旋转伺服电机（无刷和有刷），带齿轮箱的伺服电机，用于更高的扭矩/分辨率，磁性直线电机和压电直线电机。使用压电直线电机，不需要驱动丝杠，齿轮和联轴器元件，从而减小了尺寸和复杂性，同时提高了可靠性。压电电机在静止时自锁，提供出色的长期稳定性。

位置反馈由线性编码器或安装在电机上的旋转编码器提供。

PI 精选的紧凑型线性载物台和旋转定位器可在非常小的封装中提供高精度

空气轴承

空气轴承级用于需要无振动运动，速度需要高度恒定，并要求佳角度可重复性的地方。

空气轴承可避免摩擦、磨损和间隙效应。PIglide 直线轴承、旋转轴承和球面轴承是精密部件，可集成和电动化，适用于 OEM、工业和研究市场

Physik Instrumente (PI) 线性载物台