MUEGGE微波等离子系统整体解决方案 半导体与环保装备核心供应商

MUEGGE作为工业微波与等离子系统制造商，提供从发生器、电源、等离子源到成套系统的全链条解决方案，覆盖半导体、环保、MEMS、光伏、医疗等领域，以德国技术与定制化能力为全球客户提供稳定可靠的核心装备。

一、MUEGGE核心产品线参数总览

二、MUEGGE系统方案技术优势

MUEGGE微波等离子系统具备高稳定性、高匹配性、高效率、易集成等特点，电源、磁控管、等离子源、传输组件全系列自研自产，可实现阻抗匹配与系统协同。在半导体领域，提供去胶、刻蚀、表面活化全套方案；在环保领域，提供VOC分解、危废处理、尾气净化大功率等离子系统；在工业加热领域，提供橡胶、木材、食品、化工连续微波加热解决方案。

设备支持远程监控、自动化控制、多设备联动，符合工业4.0要求，可满足科研实验与大规模量产需求。

北京汉达森机械技术有限公司，田永福。

三、MUEGGE品牌常见型号与产品名称

MUEGGE MA075KA-019BF常压等离子源、MUEGGE MA1250D-121BB微波等离子去胶机、MUEGGE MA4000Y-013BC等离子阵列、MUEGGE MS100KI-501DL线性微波电源、MUEGGE MX1250C-113KL开关式微波电源、MUEGGE MH磁控管、MUEGGE MW隔离器、MUEGGE MW水负载

四、总结

MUEGGE以全链条自研、德国品质、全球服务、深度定制为核心竞争力，是半导体制造、环保治理、工业加热、精密表面处理领域的顶级微波等离子解决方案供应商，为装备提供核心动力与关键技术支撑。

MA075KA-019BF 常压等离子源

MUEGGE MA075KA-019BF

MUEGGE常压等离子源

MA075KA-019BF等离子源

915MHz微波等离子源

75kW常压等离子源

MUEGGE VOC废气处理等离子源

MA075KA-019BF技术参数

德国MUEGGE等离子源

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MUEGGE MA4000Y-013BC

MUEGGE等离子阵列

MA4000Y-013BC等离子系统

低压微波等离子源

大面积表面处理等离子

MUEGGE陶瓷放电管等离子源

MA4000Y-013BC技术参数

德国MUEGGE等离子阵列

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MUEGGE MS100KI-501DL

MUEGGE线性微波电源

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MS100KI-501DL参数

德国MUEGGE微波电源

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MUEGGE MX1250C-113KL

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