MLase AG 高功率准分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000
品牌背景:
MLase股份公司
自TuiLaser AG的前成员于2007年12月创立MLase以来,我们致力于开发和生产创新的高质量激光和光系统,这是由高度专业化的专家团队积累多年经验的结果。MLase AG考虑到新的技术方面,为客户提供高质量的产品。MLase AG的质量管理通过了EN ISO 13485:2016认证。
MLI 系列准分子激光器特点:
1.MLI 系列设备为工业应用提供具有直接波长的准分子激光器。具有市场上长的正常运行时间和可靠性以及低的运营成本。由于均匀的光束轮廓和能量稳定性,适用于要求苛刻的应用。
2.MLI 系列准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高达 16 mJ 的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的重复频率。
3.当然,如果需要,标准设置的激光器可以根据个人需求进行调整。如:准分子激光器可用的波长为 193 nm(气体:ArF 氟化氩)和 248 nm(气体:KrF 氟化氪)。可根据要求提供其他波长如157nm等,也可以提供如高功率版本HP
MLI 系列准分子激光器型号:
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLase AG高功率 MLI-HP-KrF 500 / 1000规格参数:
主要功能
•坚固紧凑
设计:
•高可靠性,易于集成
•电晕预电离•均匀光束轮廓
•固态电路•立即可用,无老化
•卡套管技术•卡套管全金属密封
•数十亿脉冲的延长寿命
•能量监测器•能量稳定
•RoHS、CE、CDRH
顺从的
•满足主要政府法规
•空气冷却管
•水冷管*
•占空比10%(1000Hz)循环时间大30分钟
•占空比20%(500Hz)循环时间大30分钟
•占空比100%24/7
重量/设施/尺寸
重量应用程序。80千克
冷却空气
冷却水*
电气230V,50/60Hz,大2300W。
尺寸(长x宽x高)560 x 355 x 445mm
参数KrF:
波长(nm)248
大重复频率(Hz)500/1000
稳定脉冲能量(mJ)14
大脉冲能量(mJ)20
光束尺寸(FWHM,V x H mm)6x3
光束发散度(FWHM,V x H mrad)2x1
MLase AG 高功率准分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000