SF6气体抽真空充气装置主要功能件有压缩机、真空泵、制冷系统、干燥过滤再生器、加热器、净化器、过滤器、管道、阀门、仪表、电气控制以及结构件，框架面板、走轮和贮罐等。

SF6气体抽真空充气装置正确操作流程

 1、SF6气体的回收

当SF6从一个气室中抽出时，气体便自动地流经净化过滤器，通过SF6压缩机压缩冷却，可以气态也可以在一定高压下以液态形式储入SF6贮罐。

2、SF6开关抽真空

通过真空泵把开关中的空气及湿气可以抽除，真空泵的出口通向大气。

3、充气

经净化和干燥的SF6从贮罐充回到已抽成真空的气室中，直到气室内压力达到调定的工作压力。上述工作分两个步骤进行:

借助SF6贮罐压力使气体流向SF6开关，直至达到预定的充气压力。

2、当SF6贮罐压力与SF6开关压力平衡时，再采用压缩机进行加压充气，直至达到预定充气压力。