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piezoconcept单轴压电平台FL1.100
紧凑型单轴压电台,66毫米方形孔径。当需要小尺寸和孔径时推荐使用。可以叠放。
可与粗定位微载物台结合使用。
运动范围(um):100
分辨率(nm):0.1
噪声下限(nm典型值)0.01
重复性(nm):0.2
线性化(典型值共振频率(Hz):0.02%
线性化:0.02%
刚度(N/um)0.6
传感器尺寸Wx L x H(mm):121x118x13.6
材料电缆长度(m):2
控制器大负载:1
水平使用垂直使用:0.5
FL1.100
FL1.200
FL1.300