对高速偏摆镜你了解吗?
时间:2021-01-29 阅读:3817
PI的压电陶瓷柔性铰链平台将亚纳米级分辨率和导向精度以小串扰相结合。这使得其特别适用于计量学中的应用、超高分辨率显微镜、干涉测量或半导体芯片生产的检测系统。压电陶瓷柔性铰链平台可用于毫秒稳定精密定位和动态扫描,频率高达几百赫兹,多达六自由度。
拥有zhuan 利的传感器设计、无摩擦柔性铰链导向和长使用寿命的PICMA®压电陶瓷促动器*地组合在一起,带来了优异、坚实的机械部件。压电陶瓷运动控制器支持定位和扫描性能优化,可通过数字或模拟接口和轻松编程实现简易集成。
压电柔性铰链倾斜镜
压电陶瓷柔性铰链镜面平台的高刚性可实现高动态性和优异的定位稳定性。该紧凑型设备常用于激光加工和激光控制中的射束偏转。在一个固定的公共枢轴点及偏振方向无变化的的情况下,其并联设计使倾斜轴上的性能*。
高速偏摆镜结合zui高动态和紧凑设计
光束偏转达4.4毫弧度
亚毫弧度级分辨率
亚微秒级响应时间
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
包含BK7反射镜
可选配位置传感器
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命