低温等离子净化设备又称低温等离子净化设备。本工艺在电催化总的概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

1、低温等离子净化设备微波激发区

本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较，在纳秒的时间内作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，大的等离子体区，板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果。

2、低温等离子净化器离子体激发

本工艺有40支至240支充有气体的无管组成的低温等离子体激发区，本工艺借助低气压的无灯作为低温等离子体的激发体，较大限度地在无管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有强的能量平衡性，在粒子撞击中失能少。

3、低温等离子净化器板区

根据被处体的流量，板间的电压分12KV、16KV至42KV，板间加以足够的电压，在引风的作用下，区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。

根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。本工艺集三种技术与一体，原废气的去除率非常理想，浓度废气去除率可达84%以上。

电催化氧艺集低温等离子体、微波放电、板放电与一体，在实际使用中实现废气的处理是为复杂的过程，整个过程在不到1秒的时间内完成。从理论到模型都能探究到相关的机理，通过三种方式的集中放电，废气分子从低能的E,在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充分断裂，在雪崩式的撞击中断裂后的粒子由于质量小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成味的CO2、H2O以及其它价化合物。同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，去除不同范畴的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。

低温等离子净化设备采用了的吸附-分解-碳化，离心式抽风安装-新工艺技术，采用模块等优点，是一种干法处理废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需再利用处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，换及维护保养方便。

低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理新的一种原理。