PFA花篮

PFA花篮（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花蓝 ，铁氟龙卡匣 ， 铁氟龙晶舟盒 ，铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，能做激光雕刻，能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。

主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。

二、参数

三、特点

1.耐腐蚀：耐受强酸强碱

2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输

3.耐高低温：-200~260℃

4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；

5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；

6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染

 7.化学性能稳定

产品名称:2个″特富龙卡带/ PFA卡带

尺寸:142.1 (L) * 67.08 (W) * 59 (H)毫米

重量:194.5克

容量:25PCS

晶圆尺寸:2寸(Ø50mm)厚度0.5mm~0.7mm

材料:聚四氟乙烯/ PFA

槽距:4.76毫米

产品名称:4″特富龙卡带/ PFA卡带

尺寸:125 (L) * 140 (W) * 113 (H)毫米

重量:571克

能力:25PCS

晶圆尺寸:4寸(Ø100mm)厚度0.5mm~0.7mm

材料:聚四氟乙烯/ PFA

槽距:4.76毫米

产品名称:6″特富龙卡带/ PFA卡带

尺寸:179 (L) * 147 (W) * 175 (H)毫米

重量:1045.4克

能力:25PCS

晶圆尺寸:6英寸(Ø150mm)

材料:聚四氟乙烯/ PFA

槽距:4.76毫米

产品名称:8″特富龙卡带/ PFA卡带

尺寸:233 (L) * 220 (W) * 225 (H)毫米

重量:1407克

能力:25PCS

晶圆尺寸:8英寸(Ø200mm)

材料:聚四氟乙烯/ PFA