当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。（在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。

 等离子光氧一体机的应用也比较广泛，主要运用在造纸业、制药行业、橡胶轮胎或者橡胶密封条生产车间、垃圾处理、皮革行业、印刷行业、香料生产业、饲料厂及农药生产厂等多个行业中的有毒有害气体、恶臭和异味的处理，等离子氧一体机对部分行业的净化效率在95%左右，是目前市场上较好的废气净化设备。