SF6回收充气装置装置的主要功能件有压缩机、真空泵、干燥过滤再生器、净化器、过滤器、管道、阀门、仪表、电气控制以及结构件，框架面板、走轮等。 
一、装置主要部件配置参数如下： 
1、SF6压缩机：封闭耐氟压缩机 
a：理论排气量：12m³/h
b：排气压力：4.5Mpa 
c： 最小吸气压力：53Kpa
d：吸气压力：0.35~0.8 Mpa
e：功率：0.75KW
f：电源：380V 50HZ 
2、抽真空系统采用旋片式真空泵 
3、a：真空泵采用风冷式可长期运行 
b：抽真空速率12-20 m³/h
c：极限真空度0.06pa
4、过滤系统（净化系统：采用滤芯，过滤器双级过滤，真空活化自再生处理） 
5、SF6阀门：3-365R01 SF6专用 
6、压力表、真空表： Y-100 ，热偶真空计 
二、 SF6回收充气装置装置的配套范围： 
1、装置1台 
2、真空计1台（装于主机） 
3、高压管2根