等离子工业光氧催化废气处理技术研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、无毒化，净化环境，由于其对污染物分子的高效分解且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。与目前国内常用的异味气体治理方法相比较，等离子光氧催化废气处理技术应用于恶臭气体治理，具有处理效果好，运行费用低廉、无二次污染、运行稳定、操作管理简便、即开即用等优点。
等离子废气处理就是处于电离状态下的气体，等离子体由大量的电子、离子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成。一般气体放电产生等离子体属于低温等离子体。另外也可以对低浓度、高流速、大风量的含挥发性有机污染物和含硫类污染物进行处理。常压下，气体放电产生的高度非平衡等离子体中电子温度（数万摄氏度）远高于气体温度（100摄氏度），在非平衡等离子体中可能发生各种类型的化学反应，主要决定于电子的均匀能量、电子密度、气体温度、有害气体分子浓度和共存的其它气体成份。但电子和正离子的电荷数必需相等，整体表现出电中性，这就是等离子的含义，等离子具有导电和受电磁影响的性质，在很多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四状态。