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-135°C 真空深冷机
-135°C Vacuum deepp cooler
用于原理:
在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中,空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽,这类残余气体在高真空状态下,抽取难度大、速度慢,而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件,深冷机可有效解决这类问题, 在真空度 10-2 至 10-8 pa 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,提高真空度、提高产品品质,加快抽速提高生产效率。
水汽捕集泵真空深冷机
在真空室中或油扩散泵的泵口,放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置(盘管或冷阱),通过其表面的深低温冷凝能力,迅速将真空腔体内的残余气体附着,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短50-80%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类:
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。 2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
水汽捕集泵真空深冷机
永佳真空深冷机不同型号规格
型 号 | ZK-1100D12 | ZK-1100D16 | ZK-1100D16L | ZK-1100D18 | ZK-1100D18L | ||||
功率(KW) | 10 | 14 | 14 | 18 | 18 | ||||
zui大制冷量(W)(-100℃) | 2000 | 3000 | 3000 | 4000 | 4000 | ||||
电 源 | 380V,50HZ | ||||||||
抽速L/S | 149200 | 238200 | 238200 | 372500 | 282000 | ||||
预冷时间(min) | 30 | ||||||||
除霜时间(min) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤4 | ≤4 | ||||
再降温时间(min) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ||||
低温管表面积(㎡) | 1 | 1.8 | 1.5 | 2.5 | 2 | ||||
低温管规格 | 20m | 38m | 双路15m | 50m | 双路20m | ||||
冷却方式 | 水冷,水温≤30℃ | ||||||||
冷水流量(t/h) | 1.6 | 2.5 | 2.5 | 3 | 3 | ||||
冷水接口尺寸(mm) | 16 | 16 | 16 | 19 | 19 | ||||
需冷水机功率(HP) | 5 | 8 | 8 | 10 | 10 | ||||
适用油泵直径(mm) | ≤800 | ≤900 | ≤600 | 1000或1200 | ≤800 | ||||
适用真空腔室直径(mm) | ≤1300 | ≤1500 | ≤1000 | ≤1800 | ≤1500 |
永佳真空深冷机适用领域:
1半导体 2太阳能薄膜制程 3光纤市场 4平板显示 5装饰镀膜、卷绕镀膜、光学镀膜