飞创精密直线模组在电子半导体激光检测的技术应用
时间:2018-01-04 阅读:394
飞创FMC H/L U/R高精高速单轴直线电机模组
有效行程 : Max1000mm
光栅分辨率 : 5um-10nm
重复定位精度 : H±1um、L±50nm
zui大运行速度 : 1m/s-5m/s
zui大加速度 : 2G-5G
应用行业 : 电子、半导体、激光、检测
飞创FMCL H/L U/R 高速高精单轴直线电机模组
FML 系列 H/L U/R单轴直线模组
有效行程 : Max1000mm
光栅分辨率 : 5um-10nm
重复定位精度 : H±0.5um、L±10nm
zui大运行速度 : 1m/s-5m/s
zui大加速度 : 2G-5G
飞创FMS H/L U高速高精单轴直线电机模组
有效行程 : Max1000mm
光栅分辨率 : 5um-10nm
重复定位精度 : H±0.5um、L±10nm
zui大运行速度 : 1m/s-5m/s
zui大加速度 : 2G-5G
应用行业 : 电子、半导体、激光、检测
飞创XY轴系列直线电机模组
有效行程:300 * 180 mm
光栅分辨率:1um
重复定位精度:±3um
X-Y行走平行度:±3um
zui大运行速度:800 mm/s
zui大加速度:15m/s2
应用行业:电子、半导体行业
飞创Z轴系列直线电机模组
Z轴需要选择合适的恒力气弹簧来配平
有效行程:150mm
光栅分辨率:1um
重复定位精度:±3um
zui大运行速度:800mm/s
zui大加速度:500mm/s2
应用行业:电子、半导体行
飞创大理石系列直线电机模组
技术参数
有效行程:400*200*100
光栅分辨率:1um
重复定位精度:±2um
zui大运行速度:1000mm/s
zui大加速度:20m/s2
三轴正交垂直度:±5um
应用行业:激光行业、汽车行业
飞创龙门系列直线电机模组
有效行程:300*180
光栅分辨率:1um
重复定位精度:±5um
zui大运行速度:1000mm/s
zui大加速度:20m/s2
应用行业:电子行业工件装配机械手
直线模组,也叫线性模组,是一种将直线运动平台模块化的运动单元,把导轨系统和传动系统进行精密的组装,集成到一个单元中。这种系统集成极大地方便了工程师的设计选型工作,让设备的组装变简单化、模块化。市面上常见的机械传动系统有这几种:丝杠,同步带,齿轮齿条;这些传动系统的驱动,通过旋转电机/减速机来实现;这些机械传动系统,由于传动链比较长,系统累计误差等原因,导致传动精度和响应速度不能满足某些应用的要求。
而如果用直线电机来实现直接驱动,就省去了减速机,丝杠/皮带/齿轮齿条等传动链中间环节,提高了系统的传动精度和响应速度;集成了直线电机的直线模组,被称为直线电机模组或直线电机滑台:
直线电机在工业设备中的应用,主要在机床方便比较突出,近几年,上对数控机床采用直线电机显得特别热,究其原因是,传统机床的驱动装置丝杆驱动,丝杆驱动本身具有:长度限制,机械间隙,摩擦后精度问题等,而直线电机可以实现超高的精度,速度是丝杠的10倍甚至更多。
直线电机特点:
高速 – zui高可达 10 m/s,平均值3 m/s
高精度 – 微米(亚微米级)级定位精度.
高响应
刚性- 比一般机械系统加速能力强
零背隙 – 直接驱动
易维护 – 简单的机械部件,没有机械连接
可定制范围广,有效行程20mm~60m,避免了滑台的弱点:丝杠的变形和皮带的松动等现象
直线电机定位平台
:
客户可根据自己需求自行组装
,定制直线平台,
直线电机,
直线导轨
,光栅尺反馈
,机械设计
飞创直线模组目前致力于发展:超高速、高精度、长行程直线模组(单轴、双轴、大理石、龙门单双驱等)直线模组、线性模组、直线导轨滑台模组的非标定制,可根据用户需求定制各种行程及特殊要求的线性模组、直线电机模组,如需或询价请飞创直线模组技术工程师。