直线模组参数指标：

X轴：                                                            

1. 有效行程：500mm                                  
2. 重复定位精度：±0.0025mm            
3. 速度： 500mm/s                               

4、加速度：0.5G                                     

5、光栅尺分辨率：0.001mm                    

6、Y轴负载50KG                             

7、可在运行中无级变速              

Y轴：

1. 有效行程：500mm
2. 重复定位精度：±0.0025mm
3. 速度： 500mm/s
4. 加速度：0.5G
5. 光栅尺分辨率：0.001mm
6. 安装：正面安装
7. 可在运行中无级变速

旋转：

1. 旋转速度在0~200转/分无级变速
2. 旋转定位精度请见以下参数：

3、定位精度：±30 弧分

4、重复精度：±1.3弧分

5、轴向跳动：0.015mm

6、径向跳动：0.03mm