高精度程控匀胶机 型号:QAZ12-SYSC-100C

一. 产品特点
1. 旋转电机采用为匀胶机设计的高速伺服电机，具有高精度、高稳定性、高性。
2. 旋转加速性能，大旋转加速度*可达 40000rpm/s。
3. 真空系统采用双重唇口式密封，紧密贴合包裹旋转轴，吸片牢固，不掉片。
4. 两项互锁功能：
1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动；
2) 真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，则立即停止运行，确保吸片牢固。
5. 机身外壳采用 SUS304 不锈钢制作，表面镀钛，防腐蚀、不生锈、易清洁。
6. 匀胶腔体采用德国劳士领 NPP 材料，经 CNC 一体加工成型。接储脱离基片的胶液，避免进入
真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。
7. 匀胶机涂膜腔体内有废液排出孔。在涂膜过程中接储脱离基片的废液，并从排液孔排出。
8. 样品台采用德国劳士领 NPP 材料，经 CNC 一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。
9. 匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程多可分十步进行，每步的加速时间、旋转速度、
匀胶时间均可控制、连续可调。可储存 30 组工艺程序，随时调用。
10. 7英寸液晶触摸屏使控制方便；运行状态及各项参数实时显示，直观了解匀胶进程；
11. 真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作。
12. 旋转前增加预吸片步骤，“预吸片时间”多为 99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂
膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，“解吸片时间”多为 99s，确保停止后再切断真空，释放
基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤。
13. 标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。

高精度程控匀胶机 型号:QAZ12-SYSC-100C

二. 技术参数
型号
参数 SYSC-100C
可镀膜基片尺寸 圆形 Ø5～100mm；方形 5×5～70×70mm
旋转速度 0～10000rpm
转速分辨率 1rpm
速度精度 ＜0.02%
旋涂加速度* 0～40000rpm/s
每步加速时间 0～999.9s
每步旋转时间 0～9999.9s
旋转时间分辨率 0.1s
预吸片时间 99s
解吸片时间 99s
腔体材料 劳士领 NPP 材料
样品台材料 劳士领 NPP 材料
真空系统密封方式 双唇口密封装置
驱动电机类型 工业级高速伺服电机
内置程序 50 组内置程序
旋转控制方式 分步编程控制
保护 腔体开关互锁以及真空压力检测保护
胶液排出通道 腔体底部胶液排出孔
真空泵开关方式 自动程序控制
电机保护 “WALL”构造防胶液浸入电机