DPLZ-1500微波等离子发生设备
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北京亚欧德鹏科技有限公司
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微波等离子发生设备 型号 DPLZ-1500
本设备由微波系统、真空系统、水冷系统等几部分组成电源:AC220V,50Hz微波功率:0-1500W连续线性可调(或0-800W连续线性可调)微波频率:2450MHz±50MHz石英管反应室:φ50mm放置样品的基片台可以方便地在放电腔内上下升降调节放电腔两端有双层水冷套作降温保护
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