μLine 3D Etalon激光干涉仪测量系统μLine 3D Etalon德国SP Status Pro*
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激光干涉仪测量系统的特点:
激光干涉仪测量系统的三维角度器 - 同样适用于直线度激光测量系统! (BG 840260)
该角度器内置可旋转的3D棱镜(180°的范围内每次旋转15°),通过该角度器可非常便捷地进行2轴测量。
μLine 是一台双频且高精度的激光干涉仪。精准的机械测量与校正是装配和质量管理的一个重要组成部分。通常对于测量机床,理想的测量精度范围是1微米。 Status Pro公司提供了不同的方法来实现所需的精确度。μLine能同时进行三维数据测量,水平与垂直方向的测量数据能达到微米精度标准,其距离方向的测量数据 能达到纳米精度标准。