FS1015气体质量流量传感器

FS1015气体质量流量传感器

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2015-07-20 16:03:54
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产品简介

FS1015气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。

详细介绍

FS1015气体质量流量传感器

产品简介：

FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。

 FS1015气体质量流量传感器产品特点：

  • 专为*和*的流量计量需求而设计 
  • 高灵敏度，应用热式质量流量计原理可测量zui低至8mm/sec的流体流量 
  • 无旁通结构，低压损 
  • 传感器的零点稳定度高
  • 经消毒液杀菌处理后可重复使用
  • 自动转换量程的开关设计提高了测量精度 
  • 主机设备上的用户界面可轻松实现线性输出

 技术参数：

产品FS1015CL单位
流量范围0~100 / 0~150SLPM
量程比100：1
精度±(1.5+0.2FS)%
重复性0.25%
零点输出飘移±30mV
输出飘移±0.12%/ ℃
响应时间8ms
工作电压5±1%Vdc
输出方式线性，模拟电压0.5~4.5Vdc
zui大流量压损1300Pa
zui大工作压力0.2MPa
工作温度-10~+55℃
储存温度-20~+65℃
工作湿度<95%RH(无结冰、无凝露)
电气接口5针插座，AMP 103956-4
机械接口ISO-15mm
校准方式空气，20℃，101.325kPa
重量21.5g

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